65.3 控壓擺閥

可優(yōu)化半導(dǎo)體與顯示器系統(tǒng)中的下游壓力控制和隔離

最大限度地提高生產(chǎn)率

65.3 控壓擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專(zhuān)為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可提供改進(jìn)功能。

驅(qū)動(dòng)器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力，可提供全新可控性。這意味著可以非?？焖佟⒕?xì)和準(zhǔn)確地控制鐘擺閥板的各個(gè)位置，從而在極短的響應(yīng)時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)非常精確的下游壓力控制。閥門(mén)的預(yù)設(shè)運(yùn)動(dòng)序列可根據(jù)各種不斷變化的工藝參數(shù)，對(duì)速度和路線(xiàn)進(jìn)行調(diào)整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經(jīng)過(guò)優(yōu)化的阻尼關(guān)閉運(yùn)動(dòng)可避免傳統(tǒng)閥門(mén)常見(jiàn)的沖擊和振動(dòng)。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無(wú)礙，幾乎察覺(jué)不到關(guān)閉和打開(kāi)。閥板提供非常精確的機(jī)械引導(dǎo)，可確保往復(fù)運(yùn)動(dòng)中的無(wú)接觸氣流控制，并在密封運(yùn)動(dòng)的所有區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)均勻的密封。

65.3 控壓擺閥已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想之選。

65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14")，采用鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接?？杉啥ㄖ品ㄌm，也可作為直接安裝選項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，并且可根據(jù)要求使用其他材料。

控制器可采用特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PID、上游、軟抽）?？刂破魃系母鞣N標(biāo)準(zhǔn)端  口可通過(guò)個(gè)人計(jì)算機(jī)或連接到過(guò)程控制單 元 (PCU) 輕松訪問(wèn)。專(zhuān)用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準(zhǔn) 65.3 控壓擺閥并簡(jiǎn)化維護(hù)計(jì)劃

65.3 控壓擺閥 主要特點(diǎn)

特點(diǎn):

快速精確的壓力控制

無(wú)沖擊操作：無(wú)粒子生成

提高工藝穩(wěn)定性：可控制所有流量和壓力

帶有控制性能分析儀 (CPA) 的 32 位集成壓力調(diào)節(jié)器 (IC2)

“即插即用"改造：無(wú)需校準(zhǔn)或匹配

優(yōu)勢(shì):

可靠性、精度和速度

維護(hù)周期延長(zhǎng)

運(yùn)行成本低

技術(shù)數(shù)據(jù)

尺寸  DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"),

DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14") 

驅(qū)動(dòng)器  帶集成壓力控制器的步進(jìn)電機(jī) 

閥體材料  鋁：鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 

饋通件驅(qū)動(dòng)器密封圈 旋轉(zhuǎn)饋通件軸饋通件 

標(biāo)準(zhǔn)法蘭  ISO-F, JIS 

泄漏率閥體鋁硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 < 1 × 10-9 mbar ls-1

< 1 × 10-5 mbar ls-1 

泄漏率閥座鋁硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 < 1 × 10-9 mbar ls-1

< 1 × 10-4 mbar ls-1 

壓力范圍鋁硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng))

1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (絕對(duì)壓強(qiáng)) 

維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù)壓力控制關(guān)閉/打開(kāi) 100 萬(wàn)次20 萬(wàn)次 

溫度閥體 ≤ 120 °C  

 控制器 最大 50℃（建議 ≤35℃） 

材料閥體、閥板 EN AW-6061 (3.3211) 

 密封圈 EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303),

AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) 

 其他部件 AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122),

AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301) 

密封閥蓋、閥板、閥體饋通件 氟橡膠（含氟彈性體） 

安裝位置  任何位置 

vatvalve半導(dǎo)體65.3 控壓擺閥65340-JAAH

vatvalve半導(dǎo)體65.3 控壓擺閥65340-JAAH

65.31 × 10-8mbar 至 1 bar (abs)

控壓擺閥

商品編號(hào) 65340-JAAE

尺寸： DN 100 (4")

材質(zhì)： 鋁

驅(qū)動(dòng)器： 步進(jìn)電機(jī)

位置指示信號(hào)： 沒(méi)有

電磁閥： 沒(méi)有

法蘭： JIS

控制器： SPS

接口： 邏輯（A/D）/2個(gè)感應(yīng)器

65.31 × 10-8mbar 至 1 bar (abs)

控壓擺閥

商品編號(hào) 65340-JAAF

尺寸： DN 100 (4")

材質(zhì)： 鋁

驅(qū)動(dòng)器： 步進(jìn)電機(jī)

位置指示信號(hào)： 沒(méi)有

電磁閥： 沒(méi)有

法蘭： JIS

控制器： SPS

接口： Profibus /2個(gè)感應(yīng)器

65.31 × 10-8mbar 至 1 bar (abs)

控壓擺閥

商品編號(hào) 65340-JAAH

尺寸： DN 100 (4")

材質(zhì)： 鋁

驅(qū)動(dòng)器： 步進(jìn)電機(jī)

位置指示信號(hào)： 沒(méi)有

電磁閥： 沒(méi)有

法蘭： JIS

控制器： SPS

接口： RS232接口/2個(gè)感應(yīng)器

65.31 × 10-8mbar 至 1 bar (abs)

控壓擺閥

商品編號(hào) 65340-JAAK

尺寸： DN 100 (4")

材質(zhì)： 鋁

驅(qū)動(dòng)器： 步進(jìn)電機(jī)

位置指示信號(hào)： 沒(méi)有

電磁閥： 沒(méi)有

法蘭： JIS

控制器： SPS

接口： RS485/2個(gè)感應(yīng)器